设备型号：EM RES102

制造厂商：德国莱卡仪器

购置时间：2017年

主要技术指标：

1、离子枪：两支非聚焦离子束方式的鞍式离子枪；

2、离子束能量：1keV~10keV；

3、离子束电流：< 3.5mA(单个离子枪)；

4、离子束轰击最大角度：-90°至+90°；

5、样品台旋转(步进电机控制)：0.6~ 10 rpm；

6、样品台摆动角度(步进电机控制)：< 360°，精确至1°。

7、样品台平移距离(步进电机控制)：不小于±5mm，精确至0.1mm；

8、真空系统：隔膜泵×1+分子泵(70L/s)×1；全无油真空系统，最佳真空度＜1×10-5 mbar；全程范围真空检测；样品室带有预交换舱。

主要功能及应用范围：可对样品进行离子束减薄，清洁，截面切割，抛光以及衬度增强。能够在本设备上常温或冷冻制备透射电镜和扫描电镜样品。